Pembersihan permukaan plasma ialah proses di mana kekotoran dan bahan cemar permukaan sampel dikeluarkan dengan penciptaan plasma bertenaga tinggi daripada zarah gas, ia direka untuk pelbagai aplikasi seperti pembersihan permukaan, pensterilan permukaan, pengaktifan permukaan, pengubahan tenaga permukaan, penyediaan permukaan untuk ikatan dan lekatan, pengubahsuaian kimia permukaan.